凯特精机半导体设备解决方案|以无磁、高精度,赋能IGBT器件精准测试
从晶圆制造、芯片封装,到功率半导体器件测试,半导体产业链横跨众多精密制造环节,每一道工序都对设备的精度、稳定性与可靠性提出严苛要求。
针对半导体设备的精密运动需求,凯特精机构建了涵盖直线导轨、滚珠丝杠、直线模组等产品的传动解决方案,以精密传动技术深度赋能国产化的半导体设备。
△ 凯特精机部分产品
凯特精机无磁滚动直线导轨副在IGBT器件测试机上的解决方案
△凯特精机无磁滚动导轨副
针对部分测试设备对无磁干扰环境下的精密运动的特殊需求,凯特精机无磁滚动直线导轨副采用无磁性材料制造,在降低磁性干扰的同时,兼顾高精度性能,可应用于IGBT器件测试机等有这样特殊要求的精密设备。
第一、无磁性:降低磁性影响,适配特殊测试环境
IGBT器件测试涉及高压、大电流及高速开关等测试工况,部分测试工位对设备的电磁环境具有较高要求。对于测试设备中的精密运动机构而言,传动部件自身的磁性同样是设备设计需要考虑的因素。
凯特精机无磁滚动直线导轨副的导轨、滑块及返向器均采用NM无磁合金制造,相对磁导率<1.01,具有良好的无磁特性,可降低导轨副自身磁性对测试环境产生的潜在干扰。
第二、高精度:支撑测试机构精准定位
IGBT器件测试过程中,测试机构需要按照设定位置完成精准运动与重复定位。运动过程中的位置偏差,可能影响测试机构与被测器件之间的相对位置关系,进而影响测试稳定性。
凯特精机无磁滚动直线导轨副可施加合理的预紧力,使滚动体与滚道保持稳定接触,在提高产品刚性的同时,实现高精度、顺畅的直线运动。
无磁滚动导轨副在IGBT器件测试机的落地应用,正是凯特精机深耕半导体赛道、推动核心零部件国产替代的典型实践。
未来,凯特精机将持续加大滚动功能部件技术研发与场景化应用力度,以高性能精密传动产品赋能半导体装备,提供更加完善可靠的解决方案。